我國真空測試計量領(lǐng)域首項ISO國際標準發(fā)布

　　2022年8月5日，真空技術(shù)行業(yè)中國主導(dǎo)制定的ISO 24477：2022《磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計的規(guī)范、校準和測量不確定度》(Vacuum technology - Vacuum gauges - Specifications , calibration and measurement uncertainties for spinning rotor gauges)正式發(fā)布實施。該標準定義了磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計的相關(guān)術(shù)語，規(guī)定了在應(yīng)用過程中需要給定的參數(shù)和詳細的校準步驟，以及需要考慮的不確定度分量。

　　該標準由李得天院士掛帥，中國航天科技集團有限公司五院510所牽頭負責，東北大學(xué)、蘭州文理學(xué)院、沈陽真空技術(shù)研究所、北京衛(wèi)星環(huán)境工程研究所、中國計量科學(xué)研究院等共同參與制定。ISO 24477：2022的發(fā)布，實現(xiàn)了我國在該領(lǐng)域國際標準方面“從0到1”的突破。

　　據(jù)了解，國際標準制定過程大致分為6個階段，即提案階段、準備工作草案階段、技術(shù)委員會草案階段、征詢意見草案階段、批準階段和印刷發(fā)行出版階段。一項國際標準從提出文稿到批準為標準大致需要36個月以上。

　　2019年6月，國際標準化組織真空技術(shù)委員會(ISO/TC112)在日本京都召開了工作年會?；?10所和李得天院士在真空測試領(lǐng)域的國際影響力，此次會議上中國爭取到ISO 24477國際標準的主導(dǎo)制定任務(wù)。

　　經(jīng)過歷時3年的精心組織實施，先后于2019年10月提交了工作草案(WD)并正式立項，2020年12月通過技術(shù)委員會草案階段(CD)投票，2021年8月進入征詢意見草案階段(DIS)，2022年3月進入批準階段(FDIS)，2022年8月進入最終印刷發(fā)行出版階段(ISO)。

　　此項標準在制定過程中，共有來自中國、德國、日本、美國、瑞士等計量技術(shù)機構(gòu)科研單位的幾十位專家學(xué)者參與了交流討論。團隊針對各國專家提出的意見建議逐一進行了答復(fù)并得到專家一致認可。

　　在全球認可和非認可的校準服務(wù)中，磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(magnetic suspension spinning rotor vacuum gauge)被廣泛用作標準真空計。ISO 24477：2022標準定義了磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計的相關(guān)術(shù)語，規(guī)定了在應(yīng)用過程中需要給定的參數(shù)和詳細的校準步驟，以及需要考慮的不確定度分量。以規(guī)范如何正確校準磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計，以及如何用作標準真空計。

　　這對于在所有應(yīng)用領(lǐng)域進行的真空工藝過程，尤其是對于半導(dǎo)體工業(yè)、光伏、鍍膜工業(yè)、航空航天、核工業(yè)等高真空應(yīng)用領(lǐng)域，能夠?qū)崿F(xiàn)真空量值溯源具有舉足輕重的意義。同時，也是對我國真空測試計量領(lǐng)域話語權(quán)和實力的肯定與展示。

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